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X射线荧光光谱仪的原理特点及应用分别是什么

来源：未知作者：admin 发布时间：2022-06-02 05:06:12 阅读次数：53

欧润先讲下X射线荧光光谱仪原理：

用X射线照射试样时，试样可以被激发出各种波长的荧光X射线，需要把混合的X射线按波长(或能量)分开，分别测量不同波长(或能量)的X射线的强度，以进行定性和定量分析，为此使用的仪器叫X射线荧光光谱仪。

仪器构造：

两种类型的X射线荧光光谱仪都需要用X射线管作为激发光源。灯丝和靶极密封在抽成真空的金属罩内，灯丝和靶极之间加高压(一般为40KV)，灯丝发射的电子经高压电场加速撞击在靶极上，产生 X射线。X射线管产生的一次X射线，作为激发X射线荧光的辐射源。只有当一次X射线的波长稍短于受激元素吸收限1min时，才能有效的激发出X射线荧光。大于1min的一次X射线其能量不足以使受激元素激发。

特点及应用：

1.优点:

设备相对简单。

可以在大气中工作，灵敏度高。

2.缺点:

X射线入射深度较大，因而当薄膜厚度在微米级以下时，常规射线技术在测定薄膜结构和成分信息时没有优势。

如:实验使用Cu靶X射线的波长约为0.15 nm，其在固体中的穿透厚度一般在100~10000 m之间，然而一般薄膜厚度通常在10~100 nm。这时X射线穿透深度远大于样品薄膜厚度，因此常规的X射线荧光法衬底的干扰很大，很难实现对纳米级薄膜进行成分分析。所以，需要控制X射线的入射角度，减小入射深度，减轻衬底信息的干扰。

应用：

X射线荧光光谱仪的不断完善和发展所带动的X射线荧光分析技术已被广泛用于冶金，地质、矿物、石油、化工、生物、医疗、刑侦、考古等诸多部门和领域。X射线荧光光谱分析不仅成为对其物质的化学元素、物相、化学立体结构、物证材料进行试测，对产品和材料质量进行无损检测，对人体进行医检和微电路的光刻检验等的重要分析手段，也是材料科学、生命科学、环境科学等普遍采用的一种快速、准确而又经济的多元素分析方法。同时,X射线荧光光谱仪也是野外现场分析和过程控制分析等方面首选仪器之一。

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